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近年模具行业飞速发展,石墨材料、新工艺和不断增加的模具工厂不断冲击着模具市场,石墨以其起良好的物理和化学性能铸件成为模具制作的首先材料。
模具是工业生产中使用极为广泛的基础工艺装备,模具工业是国民经济的基础工业。在现代工业生产中,产品零件广泛采用冲压、压铸成型、锻压成形、塑料注射或其他成型加工方法、与成形模具相配套,使坯料成型加工成符合产品要求的零件。
河北扩孔器水口圈的形状决定着这些产品的外形,模具的加工质量与精度也就决定着这些产品的质量。
1、用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟片、电极座、石墨螺丝、石墨螺帽。
2、用于硅外延设备,表面SiC涂层的立式、盘式、单片式石墨基座,MOCVD制程用SiC涂层石墨基座。
3、离子注入用石墨电极、衬块、石墨屏蔽罩等配件,等离子刻蚀用石墨电极,半导体封装制程用模具、高等级模板、治具。
4、感应加热锗氧化物、区熔半导体材料、熔化高纯度金属的河北石墨坩埚、河北石墨舟皿及其配件,直拉锗与化合物单晶的高纯石墨加热器、保温罩等。
5、蓝宝石HEM法生产中使用到的高纯度石墨加热器、石墨电极。