河北石墨炉件因其自身优势被广泛应用于电子、冶金、化工、钢铁等各个领域,产品品质优良,性能稳定。
石墨炉件的特点:
1、作为耐火材料,石墨及其制品具有耐高温、高强度的性质,在冶金工业中主要用来制造河北石墨坩埚,在炼钢中常用石墨作为钢锭的保护剂,冶金炉的内衬;
2、作为导电材料,在电气工业上用作制造电极、碳管、水银正流器的正极,河北石墨垫圈,电话零件,电视机显像管的涂层等;
3、作为耐磨润滑材料,石墨在机械工业中常作为润滑剂,润滑油往往不能在高速、高温、高压的条件下使用,而石墨耐磨材料可以在200~2000℃温度中在很高的滑动速度下,不用润滑油工作,许多输送腐 蚀介质的设备,广泛采用石墨材料制成活塞环,密封圈和轴承,它们运转时勿需加入润滑油。石墨乳也是许多金属加工(拔丝、拉管)时的良好的润滑剂;
4、良好的化学稳定性,经过特殊加工石墨具有导热性,渗透率低等特点。
1、用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟片、电极座、石墨螺丝、石墨螺帽。
2、用于硅外延设备,表面SiC涂层的立式、盘式、单片式石墨基座,MOCVD制程用SiC涂层石墨基座。
3、离子注入用河北石墨电极、衬块、石墨屏蔽罩等配件,等离子刻蚀用石墨电极,半导体封装制程用模具、高等级模板、治具。
4、感应加热锗氧化物、区熔半导体材料、熔化高纯度金属的河北石墨坩埚、河北石墨舟皿及其配件,直拉锗与化合物单晶的高纯河北石墨加热器、保温罩等。
5、蓝宝石HEM法生产中使用到的高纯度石墨加热器、石墨电极。