河北石墨支撑架具有化学稳定性的能力,石墨支撑架技术长期使用损耗也是非常少的,只要擦拭干净还和新的一样。
石墨支撑架的成型方式:
1、模压石墨;
2、等静压石墨,也就是很多人叫的三高石墨,但是并不是三高就是等静压;
3、挤压石墨,多为电极材料。
1、用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟片、电极座、石墨螺丝、石墨螺帽。
2、用于硅外延设备,表面SiC涂层的立式、盘式、单片式石墨基座,MOCVD制程用SiC涂层石墨基座。
3、离子注入用河北石墨电极、衬块、石墨屏蔽罩等配件,等离子刻蚀用石墨电极,半导体封装制程用模具、高等级模板、治具。
4、感应加热锗氧化物、区熔半导体材料、熔化高纯度金属的河北石墨坩埚、河北石墨舟皿及其配件,直拉锗与化合物单晶的高纯河北石墨加热器、保温罩等。
5、蓝宝石HEM法生产中使用到的高纯度石墨加热器、石墨电极。